徕卡高真空镀膜仪-leica em ace600概述
leica em ace600 是一款高真空镀膜仪，真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵，无油真空系统，真空度可达2x10-6mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器，可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制，自动完成抽真空、镀膜、放气等全过程，一键操作。采用当下最流行的触摸屏控制，简单方便。仪器可选离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜（fesem）需求，可选碳丝蒸发镀碳膜，用于x-射线能谱及波谱分析，或者tem铜网镀碳膜，还可以选择电子束蒸发方式镀膜，获得极其细腻的金属膜与碳膜，可用于dna投影等特殊用途。
徕卡高真空镀膜仪-leica em ace600性能
• 完美重现的结果：运行全自动化过程，辅以参数和协议设置。集成的石英测量和
自动化3轴载物台移动
• 小巧紧凑：设计紧凑，占地面积小节省了实验室空间
• 容易清洗：可拆卸的门、卷帘、内部屏蔽、来源和载物台，确保制备高品质样本
的环境清洁
• 操作简便：直观的触摸屏，松推配合的连接器和免工具的目标变更，舒适的前门
锁定
• 自定义配置：可满足不同的具体需求
• 低温镀膜：真空低温传输系统适应将室温镀膜机转换成低温镀膜机。样本能在低
温下于受保护的环境中进行镀膜和传输
徕卡高真空镀膜仪-leica em ace600技术参数
可任选离子溅射模式，碳丝蒸发镀碳模式，碳棒（热阻）蒸发模式，
电子束蒸发模式，双溅射模式，溅射-碳丝模式，溅射-碳棒模式，溅
射-电子束模式，双电子束模式，可兼容em vct100冷冻传输系统，
可选辉光放电（用于网格表面亲水化）
专利设计脉冲式碳丝蒸发方式，可精确控制碳膜厚度
内置石英膜厚检测器，精确控制镀膜厚度，精度达0.1nm
全自动程序控制，自动完成抽真空、镀膜、放气等过程
触摸屏控制，简单方便
采用隔膜泵+涡轮分子泵，无油真空系统，真空度≤2x10-6mbar
溅射电流：0-150ma可调
方形样品仓专利设计，样品仓尺寸：200mm（宽）x150mm（深）x195mm（高）
样品台内置旋转，工作距离调节范围：30-100mm
链能金相实验设备南京有限公司
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中国 南京